本发明公开了一种一种带电粒子束诊断装置及诊断测量方法，采用法拉第筒、栅网电极、MCP探测系统有机结合的形式，实现了大动态范围带电粒子束源参数的诊断，包括带电粒子的能谱、绝对流量、准直度、均匀度的同时测量；采用三层平行栅网的设计，通过改变中间栅网的电压来选择带电粒子的能量，两端栅网接地使栅网之间形成均匀的加减速电场，并且两端栅网对变化的电场进行有效屏蔽，不会影响其他设备的电磁特性；采用法拉第内筒底部的小孔设计，使其对绝对束流强度的测量影响很小，而且大大较低束流强度，便于后续MCP探测系统对带电粒子进行计数测量。

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