本发明涉及一种用于生产HCFC‑123(2,2‑二氯‑1,1,1‑三氟乙烷)和/或HCFC‑122(1,1,2‑三氯‑2,2‑二氟乙烷)，其中至少一个反应步骤在微反应器中进行。特别地，本发明的优选实施例涉及一种用于生产HCFC‑123(2,2‑二氯‑1,1,1‑三氟乙烷)和/或HCFC‑122(1,1,2‑三氯‑2,2‑二氟乙烷)的方法，其中至少一个反应步骤在由SiC构成或者制成的微反应器(“SiC微反应器”)中或者在由合金(例如Hastelloy C)构成或者制成的微反应器中进行。在一个实施例中，用来制造HCFC‑123(2,2‑二氯‑1,1,1‑三氟乙烷)和/或HCFC‑122(1,1,2‑三氯‑2,2‑二氟乙烷)的方法可有效结合，这是由于通过根据本发明的方法使用微反应器、优选使用SiC微反应器生产的HCFC‑122(1,1,2‑三氯‑2,2‑二氟乙烷)可优选有利地用作制造HCFC‑123(2,2‑二氯‑1,1,1‑三氟乙烷)的原料和/或中间材料，优选也在微反应器中制造HCFC‑123(2,2‑二氯‑1,1,1‑三氟乙烷)。在制造HCFC‑123和/或HCFC‑122时，HCFC‑123和/或HCFC‑122可通过仅使用低能耗的方法容易地进行纯化和/或分离，并且进行纯化和/或分离的方法优选不需要蒸馏。有利地，通过相分离可以容易地以节能方式从过量的HF和催化剂中分离出HCFC‑123和/或HCFC‑122。

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