本发明公开了一种绝氧气体的脱水除氧方法，其步骤包括，（1）将市售高纯绝氧气体先后经过4A分子筛柱和5A分子筛柱进行初滤；（2）初滤后的气体通过金属有机源液进行深度除水和氧；（3）再将气体通过活性炭柱处理，即得到超高纯度绝氧气体。本发明为了提高操作过程的安全性，采用廉价易得的4A或5A分子筛经活化后进行初滤，提高吸附量、降低生产成本，避免下一步吸收过程存在的危险；提纯金属有机化合物后的残液作为主要吸收剂，具有高效的吸水、氧性，同时提高了废物再利用率，避免了废物后处理的问题。本发明方法能显著降低绝氧气体中的水氧含量，该方法具有使得绝氧气体纯化工艺简单，降低成本，适宜规模化生产等优点。

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