本发明公开了一种冷氢化合成工艺产生的渣浆的处理装置及工艺，装置包括：真空抽滤机；水解器，与真空抽滤机第一出口连接；离心机，与水解器连接，离心机包括离心机第一出口、离心机第二出口，离心机第一出口用于排出达到排放标准的第二固相分离物，离心机第二出口与水解器连接，第二液相分离物由离心机第二出口进入水解器。本发明中的冷氢化合成工艺产生的渣浆的处理装置及工艺，将冷氢化合成工艺产生的渣浆中的固液进行了有效的分离，不仅提升了渣浆中的氯硅烷的回收率，而且优化了渣浆的处理工序，本发明中几乎实现了无水排放，将电石渣变废为宝，电石渣溶液中的溶剂得到了循环利用。

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