本发明涉及工业化工生产的技术领域，公开了一种SOF 2 气体和SOF 4 气体的制备方法及其系统，所述SOF 4 气体的制备系统包括SOF 2 进气管道、氟气管道、SOF 4 反应釜及控温装置；所述SOF 4 气体的制备方法包括以下步骤：步骤1：将SOF 2 气体通入SOF 4 反应釜中；步骤2：低温条件下，所述SOF 4 反应釜通入适量氟气；步骤3：所述SOF 4 反应釜升温到室温并反应一定时间后，获得SOF 4 气体；其中，步骤1和步骤2的顺序可互换。实施本发明的有益效果主要是：首次提出一种低成本且易于放大量生产制备高纯度SOF 4 气体的制备方法及其系统，可以实现室温釜式公斤级SOF 4 气体的制备，产品的气相纯度可以达到99.5％。

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