本发明涉及一种SF 6 和N 2 混合气体快速回收处理装置和方法，本发明装置包括通过管路依次连接的逆止阀、干燥过滤装置、SF 6 回收装置、气体分离装置和氮气回收装置；在干燥过滤装置和气体分离装置上通过管路安装SF 6 气体分析仪，在氮气回收装置上通过管路安装SF 6 气体检测仪，本发明方法采用：将SF 6 和N 2 混合气体回收净化的步骤，SF 6 气体冷凝提纯的步骤，SF 6 和N 2 混合气体分离的步骤，N 2 气体提纯并罐装的步骤；采取压缩冷凝分离和高分子膜分离技术，提高了回收处理速度，实现了SF 6 和N 2 混合气体快速回收处理。

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