一种四氯化硅的制备方法及反应温度控制方法，属于基础化工原材料生产领域。在四氯化硅的生产过程中控制反应器内温度，使反应器内合成四氯化硅过程温度保持在800～1500℃。在反应过程中，根据温度按照预设模式调节氯源成分。预设模式包括：当温度高于第一预设值时，降低混合气体中的氯气和氮气的体积比。当反应器内的温度低于第二预设值时，提高混合气体中的氯气和氮气的体积比。其中，第一预设值大于第二预设值。本发明提出的碳化硅、二氧化硅、氯气反应制备四氯化硅过程温度控制方法，可方便地通过调节氮气和氯气的含量来调控温度，从而可实现更好的反应温度可控性。

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