本发明的课题是提供一种杂质除去装置，其在将由准分子激光装置排出的含有第1稀有气体和氖气的排气送向后段的工序时，能够基于排气中的杂质浓度来控制除去处理的有无和是否向外界放气。为此，提高了一种杂质除去装置，其具有：杂质浓度检测部，其测定排气流经的排出管线的排气中的杂质浓度；转变部，其基于杂质浓度检测部的测定结果，将排气中的杂质通过等离子体分解而变为别的物质；以及除去部，其使通过转变部而变成的物质与规定的反应剂反应，将其从排气中除去。杂质除去装置还可以具有基于杂质浓度检测部的测定结果、将排气向外界释放的释放管线。

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