一种制备SiO粉末的方法，涉及一氧化硅的制备技术领域，以多晶硅粉或多晶硅块与石英棒为制备SiO的原材料，置于坩埚内，在熔融状态下反应生成SiO蒸汽，再将SiO蒸汽与氩气的混合气体通入水冷沉积装置进行冷却沉积，在熔融反应时，使石英棒和坩埚内多晶硅熔体保持相反方向不断旋转接触，以使石英棒与多晶硅熔体充分反应，以提高熔融反应速度，反应生成的SiO蒸汽经水冷沉积装置冷却后形成SiO粉末后沉积至沉积箱四周外壁上分离出，氩气经过水冷沉积装置内沉积箱四周外壁上的微小通孔进入沉积箱内腔后经出气管进入氩气收集处理装置，经处理后又重新进入熔融反应装置内循环利用。

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