本发明公开了一种控制气相二氧化硅生产过程中的料位平衡方法及装置，其方法包括以下步骤：将气相二氧化硅加入到脱酸炉内，对靠近出料口处的所述脱酸炉内的不同区域进行实时监测，并按照所述脱酸炉内监测到的温度不同，进行水平区域划分，即温度最高的区域为实料区，温度最低的区域为无料区，温度在所述实料区和所述无料区的温度之间的区域为虚料区；分别对所述实料区、虚料区和无料区内的温度进行实时监测；通过控制所述料位的高度，来调整所述实料区、虚料区和无料区内的温度，来达到所述料位的平衡。本发明通过直接采用了对脱酸炉内的不同区域的温度的实时监测，不但可以精确的调整料位的平衡，而且还能满足生产工艺要求与产品质量的稳定。

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