本发明涉及一种残留熏蒸剂硫酰氟的回收装置及其回收工艺，该装置包括物理吸收塔、解吸塔、真空泵、进料泵、循环泵、储液罐、引风机、气体压缩机、储气罐等。本发明以生物柴油作为物理吸收剂，在物理吸收塔内对残留熏蒸剂硫酰氟进行回收处理，处理净化后的硫酰氟浓度达标排放；富含硫酰氟的生物柴油在解吸塔内真空解吸再生，再回到储液罐循环利用，真空解吸出的高浓度硫酰氟气体经压缩储存到储气罐中。与传统通风处理方式相比较，本发明的有益效果是：实现了温室气体硫酰氟的减排和回收再利用。本发明具有工艺流程简单、高效、稳定性好、绿色环保、不产生二次污染等优点。

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