本发明提出了一种含氟化钙废料制备氟化氢和四氟化硅的方法，包括，(1)含氟化钙废料与氟硅酸反应生成氟硅酸钙和氢氟酸；所述氢氟酸与所述含氟化钙废料中的二氧化硅反应生成氟硅酸；(2)将步骤(1)中的物料进行固液分离，氟硅酸回用到步骤(1)中；(3)将步骤(2)中分离得到的氟硅酸钙与浓硫酸反应，生成氟化氢气体、四氟化硅气体和硫酸钙固体。本发明中工艺步骤之间是连续循环进行的，可形成连续化生产线；通过氟硅酸与氟化钙反应，产生氟硅酸钙这个中间产物，使得浓硫酸与氟硅酸钙干法反应生成四氟化硅气体和氟化氢气体。本发明可达到减少环境污染，变废为宝，提高经济效率的目的。

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