本发明提供一种高纯氢气制备装置，所述高纯氢气制备装置包括制氢装置、氢气提纯装置以及氢气收集装置。所述的制氢装置还包括一个副产收集装置。所述的氢气提纯装置，其包括三个个膜分离器、两个气体流量计、一个提纯处理装置、一个氮气收集装置、一个换热器、一个增压装置以及一个减压装置；其中提纯处理装置包括提纯处理装置主体、储氢金属材料组成的箱体底层、一个活塞以及一个活塞锁紧装置。所述的氢气收集装置，其包括一个收集装置和一个储存装置。本发明采用膜分离器以及储氢金属材料来制备高纯氢气，有效的降低了制备高纯氢气的能源消耗。且其制备高纯氢气的过程中的副产也具有很高的商业与工业价值，且环保安全。

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