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一种用于沉积制备金刚石的反应器
  • 专利号:
    201710321049.0
  • 专利类型:
    发明专利
  • 申请日:
    2017-04-26
  • 所属行业:
    化学冶金 - 化学
  • 授权日:
    2019-01-08
  • 法律状态:
    下证
价格:
面议
交易方式:
转让
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  • 专利详情

    本发明涉及金刚石制备领域,一种用于沉积制备金刚石的反应器,包括石英玻璃毛细管、钨毛细管、冷却气出口、钼制柱面体、电极、热耦、冷却水进口、环形冷却气管、冷却水管、冷却水出口、反应器腔体、冷却气进口、氢气进口、喷嘴,钨毛细管一端无接触地通入钼制柱面体另一端位于反应器腔体外,钼制柱面体是加热器又是活化剂,电极由金属钼制成且电连接于钼制柱面体两端,通过加电流,能使钼制柱面体加热至2200K以上,钼制柱面体与反应器腔体之间绝缘;热耦由钨‑铼材料制成用以测量钼制柱面体温度,调节环形冷却气管中的氩气流速并使其保持在恒定值,就能够使得热耦尖端测温区域的温度仅与钼制柱面体的温度相关,能够为钼制柱面体准确测温。

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