本发明公开了一种碳化硅冶炼的废气回收工艺，包括如下步骤：对碳化硅废气进行收集，将其通过管道经过吸附网，吸附后的废气通过管道进入热交换器进行降温，并通过加压装置对碳化硅废气进行加压，碳化硅废气通入到洗气塔内底部，再次将碳化硅废气引入至洗气塔内部，在洗气塔内将碳化硅废气的温度降低至常温，碳化硅废气通入到减压阀进行减压，处理后的碳化硅废气导入变频压缩机组内，经过压缩后，通入到冷凝回收泵内，从而移至冷凝回收罐内，最后将碳化硅废气通入气柜中进行储存。本发明中在能使碳化硅废气在经过处理后，做到回收利用，避免了其排放至空气中从而污染环境，不仅保护了环境，且使得废气的从新利用，符合现在发展的需求。

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