本发明涉及一种制备高纯氟气或高纯含氟混合气的方法及装置，属于氟化工技术领域。该方法包括将电解制得的氟气或者采用电解制得的氟气调配的含氟混合气增压至正压，过滤后依次进行一级冷凝和二级冷凝；所述一级冷凝的温度为‑60～‑100℃，所述二级冷凝的温度为‑120～‑180℃。该方法所得氟气产品的纯度达到99.9％以上，满足现有电子行业和精细化工的生产用氟气要求；所得含氟混合气的纯度达到99.9％以上，满足含氟特种气体的生产要求；整体上提高了氟气产品的质量，拓展了应用市场，降低了生产过程中因氟气或含氟混合气纯度不高而造成的下游成品的不合格率，具有良好的经济价值和广阔的应用前景。

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