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一种6Li-D复合靶膜的制备方法
  • 专利号:
    201710001095.2
  • 专利类型:
    发明专利
  • 申请日:
    2017-01-03
  • 所属行业:
    化学冶金 - 化学
  • 授权日:
    2018-11-30
  • 法律状态:
    下证
价格:
面议
交易方式:
转让
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  • 专利详情

    本发明属于靶件制备技术领域,公开了一种 6 Li‑D复合靶膜的制备方法。该方法包括以下步骤:(1)将 6 LiF和(CD 2 ) n 两种粉末材料以 6 Li和D的原子比为1:3~1:5的比例均匀混合;(2)向上述混合物中加入二甲苯并在加热下搅拌得到均匀胶状悬浊液;(3)将所述悬浊液倒入已调平的石英玻璃器皿内;(4)在石英玻璃器皿上方倒扣一个可导热容器,对该可导热容器均匀加热至所述胶状悬浊液的温度为90~120℃。(5)加热至二甲苯挥发完毕后,形成均匀的 6 Li‑D复合靶膜,将其从石英玻璃器皿底部剥离;(6)将步骤(5)得到的 6 Li‑D复合靶膜放入不锈钢夹片中,通过冷轧机轧制得到所需厚度的 6 Li‑D复合靶膜。利用该方法能够制备质量厚度为0.5~6mg/cm 2 的复合靶膜且厚度均匀、稳定性好。

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